Скан тестовой решетки TGZ 02 с шагом 3 мкм и высотой 100 nm в одной и той же области в 2-х режимах:
1
2

1. С поддержанием постоянной частоты (режим постоянной жесткости). Изображение соответствует поверхности структуры "оксид кремния на кремнии".

2. С поддержанием постоянной амплитуды (режим постоянных потерь). Изображение соответствует поверхности "грязи", покрывающей тестовую решетку.


Окно сканирования: 10 х 10 мкм.
Высота рельефа: 100 нм.