Механическая нанолитография
Приборы серии «НаноСкан» предоставляют широкие возможности для прецизионной механической микрообработки и нанолитографии. Использование алмазных инденторов позволяет резать практически любой из известных материалов. Контролируя усилие прижима в процессе резания с разрешением от 10 мкН можно устойчиво получать царапины шириной от 100 нм и глубиной в несколько нанометров.
При этом максимальная глубина царапины может достигать несколько микрометров За счет использования прецизионных пьезокерамических нанопозиционеров и механических линейных трансляторов точность позиционирования алмазного индентора достигает 10 нм в поле 100х100 мкм и около 100 нм в поле 100 х100 мм.
Результат микрообработки поверхности может быть проконтролирован тем же алмазным индентором путем сканирования в режиме зондового микроскопа или с помощью цифрового оптического микроскопа.
Режим механической нанолитографии может использоваться для создания регулярных структур на поверхности, удаления окисных пленок, освобождения от покрытий в заданных областях, корректировки геометрии элементов микроэлектроники, а также микромеханических систем (МЭМС).
При этом максимальная глубина царапины может достигать несколько микрометров За счет использования прецизионных пьезокерамических нанопозиционеров и механических линейных трансляторов точность позиционирования алмазного индентора достигает 10 нм в поле 100х100 мкм и около 100 нм в поле 100 х100 мм.
Результат микрообработки поверхности может быть проконтролирован тем же алмазным индентором путем сканирования в режиме зондового микроскопа или с помощью цифрового оптического микроскопа.
Режим механической нанолитографии может использоваться для создания регулярных структур на поверхности, удаления окисных пленок, освобождения от покрытий в заданных областях, корректировки геометрии элементов микроэлектроники, а также микромеханических систем (МЭМС).
